说明他们光电技术研究所制造的光刻机,各方面性能已然达到全球顶尖行列。
甚至光刻胶也远超霓虹那边的化学公司。
本来按照大家的想法,能够制造出国产极紫外光刻机已经是天大的喜事,结果其综合性能已经不单单是追赶海外水平。
配合国产新型光刻胶已然是超越了。
而很快杨靖突然回过神来,连忙把手中文件递给侯盛昌和罗长辉。
脸上有些不好意思的说:“侯院长你快看看。”
侯盛昌自然不会在意这点小事,依旧面带笑容伸手接过后移动目光认真观看。
旁边的罗长辉则探过脑袋。
约摸过去大半分钟的时间,侯盛昌这才重新抬起视线满脸欣慰。
把文件递给罗长辉后,颇为感慨的说:“能有今天的成绩大家辛苦了,晚上我请客吃饭庆祝。”
“有了这个结果,就算阿斯麦那边派人来交流学习也丝毫不慌了。”闻言罗长辉脸上堆着笑容说,同样对这份测试结果感到非常满意。
“能有这么低的瑕疵率确实超出预料,看来是徐教授的光刻胶出了大力啊。”
侯盛昌接过话茬边说边看向徐昀。
相比在场其他人的反应,徐昀无疑是最为平静的。
对这个结果并不感觉意外。
面对罗长辉递过来的测试结果,仅大致看了眼便重新交给刘星。
他心里清楚相比海外5纳米甚至3纳米芯片工艺的极紫外光刻机,眼前这台国产7纳米光刻机肯定是和海外存在些差距的。
之所以能有这么低的瑕疵率,估计就是他研发的新型高端光刻胶的缘故。
不管怎么说都是随机奖励中得到的,肯定要比霓虹那些好的多。
当然徐昀也明白单靠一天的数据并不能说明问题。
需要长时间的光刻得到总数据才行。
念头停留在这里他开口道:“想确定新型光刻胶的真实数据,接下来还需要不断光刻测试才行。”
“不过相信只要证明新型光刻胶的稳定,应该能够打开全球市场。”
他们这话可一点没错。
之前新型光刻胶刚出来的时候,因为没有长时间的使用数据,那些晶圆厂自然不敢随意尝试,哪怕这种新型光刻胶的售价要比霓虹那边便宜很多。
可现在情况完全不同。
首台国产极紫外光刻机交付使用,便能够自行给新型光刻胶测试。
届时如此低的瑕疵率和成本摆到明面,只要货源充足的话足以改变整个市场。
真到那一天,霓虹的化学公司便不是因为产能达不到而暂停出售。
乃是生产了压根卖不出去。
侯盛昌罗长辉杨靖三人对徐昀的话很是赞同,想到很快整个半导体领域都将发生变化,便无比期待这一天的到来。
事情进行到这里,侯盛昌也总算彻底放心下来。
知道自己这次锦城没白来。
内心久久难以平复之下,再次重复道:“今天我自己掏钱请他们项目组的人吃饭庆祝。”
“那院长我们可就不客气了。”杨靖笑着回复。
就这样接下来的时间他们也没必要继续留在这,直接便返回了各自的办公室。
尤其侯盛昌还需要立刻向上面汇报。
另外值得一提的是,尽管国产极紫外光刻机成功完成组装并首日顺利,但对于这个情况暂时还是选择了保密并未对外公开。
毕竟过两天阿斯麦公司的人就要过来,要是提前知道情况那还有什么意思。
晚上。
正如侯盛昌说的那样,他的确自掏腰包请整个项目组的成员参加宴会。
算是他作为科学院院长,对大家的勉励夸奖。
不过在宴会结束的第二天清早,侯盛昌便乘坐航班返回了帝都。
徐昀虽想着尽快回京州市陪陈诗禾,但碍于阿斯麦公司单方面整出来的交流活动,只得再等两天应付完这技术官托尼诺。
按照他的想法是,既然是要来交流学习,那不拿出点真东西显然是不行。
科学院可没有白接待的道理。
起码要搞回来点技术。
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