“稳态微聚束光源确实能用于光刻,不过我们如今只是实验验证了这一概念,距离具体的应用阶段恐怕还需要大量的实验研究。”
教授办公室内,赵翔听完徐源的话,虽心中非常意动却也不得不摆出事实。
作为自己提出并成功验证的概念,他当然希望能为国家解决眼下困境。
毕竟目前国内半导体行业是个什么情况,只要接触网络都会知道。
确实急需解决高端芯片制造问题。
海外阿麦斯公司,使用的方法是用高能电子束轰击特定成分的气体,从而对晶圆片进行蚀刻,但国内现在的技术还做不出这种东西。但借助稳态微聚束,可以直接把电子束从零速度开始加速。
直到加速到很高很高。
那么所有速率的电子束全都有了,要用哪个速率的就放到特定的位置就行。
原本同步辐射在加速器领域,是个相对来说比较讨厌的事情。
因为会白白消耗加速器的能量,拖累粒子的进一步加速。
但若用于光刻的话,则刚好能利用这个效应来制造特定波长的光。
可以说能称得上脑洞大开。
如果这座光刻工厂真能建成,那么其效率将远不是普通光刻机能比的。
丝毫不夸张的讲,可以同时制造不同规格的芯片。
就好比有人要六十度的水,但精准烧不出来,那就放一条很长的管道。
让一百度的水流过管道逐渐冷却,要多少度的水在相应的位置直接接就行。
不过理念归理念,如何让这些设想变成现实,还需要深入的研究。
以及大量实验。