DUV光刻机技术难点还是不少的。
像是镜头制造方面,它要求的是极高的光学精度,镜头设计和制造过程中是绝不允许有任何微小的误差的。
此外就是光源和光路系统也是一个大难点。
DUV光刻机采用的是准分子激光作为光源,这个光源系统还是比较容易搞定的。但光路系统的设置要求十分的精细,它要设置很复杂的折射光路,来达到让光线纯化的目的,为了提高分辨率,后来还要采用水浸法,即在投射透镜和晶圆之间填入去离子水,这就对系统的稳定性和精度有了非常高的要求。
为了造出合格的DUV光刻机,张红卫在次元训练空间的实验室里做了大量的实验,最终这才搞定了光源系统和光路系统。
不过,现在,还有一个难题需要解决,那就是:想要在现实中造出高精密度的DUV光刻机,还需要有优质的先进制程的处理器芯片和传感器。
这就意味着,张红卫要造出纳米级的单片机处理器,还要编写一个单片机操作系统。
这同样也是一个大难题。
在不断的学习和实践中,张红卫现在的编程技术自然是没有太大的问题的。
如今,最难的就是造出先进制程的纳米级芯片。
不过,张红卫还有一次把次元空间训练场里实验室的成果带回现实世界的机会。
他决定充分利用这一次的机会。
张红卫就在次元训练空间的实验室里先自己操作生产出来一些单片机和传感器。
这些单片机和传感器足以生产两三台的DUV光刻机。
他将它们小心翼翼地装进一个盒子里,然后随身携带,回到现实。
他成功了。
这些先进制程的单片机和传感器被他带到了现实中来。
张红卫简直欣喜若狂。