郑承瀚一脸惊诧,赶忙从自己的衬衣口袋里面掏出他的笔记本,翻出以前导师教过的某些资料,一边对照着面前的文件夹资料。
“通过高效过滤、低温、恒温控制、高压等环境控制技术,将制造设备和产品放置在一个极低污染的空气环境中的无尘车间。
防止空气中的微小颗粒、气体、湿度等污染物和微生物污染,以确保半导体材料、工艺和产品的质量。
空气的湿度保持在30-60%RH之间,温度保持在18-25度之间,防静电,防尘。
大型鼓风机、大型空调设备、限用去离子水、高纯度氮气吹风机、智能净化检测系统、激光设备测量监控环境微粒数量和净化等级,并且能根据不同需要增加或减少控制终端,实现7*24实时远程自动监测,通过加密网络接口,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。
这个无尘车间的设置比哈工罗教授的方案还要细致,还有这些设备的自研方向以及购买渠道。”
郑承瀚嘴里念念有词,眼神的严肃从未消失,甚至越发凝重。
这一份文件上面记载的内容比上一次的那一份还要细致,还要超前,甚至很多设备,他都只是在国外的期刊上看过。
而且除了设备,还有很多工艺都是他曾经在某些教授的课上听到过得名词,甚至这些工艺的原理,他也只是一知半解,根本不了解具体技术。
心中的疑惑,让郑承瀚完全无法控制自己的双手,他一边沉浸在技术与设备之中,一边不自觉翻阅起了文件夹文件。
突然,有一个声音响起。