周瑜刚好在和一个实验室的团队讨论技术。
“基于稳态微聚束原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射光，波长可覆盖从太赫兹到极紫外波段，其中就包括了极深紫外线光刻机所需要的13.5纳米波长的EUV光。
其实这个技术，咱们也不是唯一在搞研究的，青木大学有一位博士就有在研究这个技术，只不过他们并没有专门向半导体光刻胶的光源方向上发展，而是在做理论研究和多方向的探索。
只不过稳态微聚束光源的潜在应用之一就是作为未来EUV光刻机的光源，因为咱们是专研，所以咱们目前的研究进度或许要比他们更前进一点。”
对于这点，周瑜倒是并没有再开玩笑。
因为根据前世的记忆，他知道这个教授的团队与德国的合作团队，大概要等到大夏阴历2020年之后，才会在《自然》杂志上发表了《稳态微聚束原理的实验演示》，报告稳态微聚束的首个原理验证实验。
八年之后才会发表，现在对方可能连大型实验项目的规划都还没有出来。
怎么和他这个开卷写答案的进度比较？
而后，就得知了这位邹王振教授已经到了研究大楼的信息。
于是，在邹王振教授们“历经了千辛万苦”之后，这才是见到了正主。
周瑜与李贤审两人，带着几位半导体工程师，在研究楼与其见面。
在相互介绍之后，邹王振教授握着周瑜的右手，主动问道。“周董事长，贵公司对稳态微聚束技术怎么看？”
面对这个问题，虽然周瑜也可以让最新招聘到的光学教授和其他工程师们来回答，但是在看到面前老人眼中的光亮时，他选择了自己回应。
看了看四周，没有额外人员，他微笑着对这位教授回道：“相比于目前阿斯麦公司的光刻机所使用的极紫外光技术，咱们的光学团队都一致认为稳态微聚束是一种更理想的光源，原因在于后者具有更高的平均功率、更高的芯片产量，以及更低的单位成本。
利用激光等离子体产生极紫外光源，将强激光脉冲投射到液态锡滴上。
激光会粉碎液态锡滴，在撞击过程中产生极紫外脉冲光，并在经过复杂的滤波和聚焦后，产生功率约250瓦的极紫外光源。
而在到达芯片之前，这极紫外光束要经过11个镜子的反射，每个镜子都会损失30%的能量，因此光束到达晶圆时的功率小于五瓦。
虽然现在看这个光源制造十纳米制程的芯片，可以说是手到擒来，只要技术规格和设备精度达到了，很快就能够制造出来。